真空退火爐是一種在真空或保護氣氛環境中實施金屬材料退火處理的專用設備,通過無氧化加熱+可控冷卻消除材料內應力、改善晶粒結構。廣泛應用于航空航天、半導體電子、醫療器械、汽車制造、新材料冶金及工具模具等行業
1.多氣氛兼容,可通入惰性氣體(如N?、Ar)、氧化性氣體(如O?)或混合氣體,滿足不同工藝需求(如燒結、退火)
2.高溫范圍700℃-1700℃可選
3.密封性強,保證真空和氣氛穩定性
4.智能控制,可編程多段升溫曲線,存儲多組工藝參數,實時監控溫度
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系列
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有效容積
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最高溫度
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加熱元件
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爐膛深度
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真空度
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氣氛
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RGT
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64L-343L可選
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1700℃
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硅鉬棒
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400-700MM
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-0.1MPA
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N2/O2/Ar等
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